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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜230系列
 
型号 FSM-230.02.L30 FSM-230.02.L42 FSM-230.02.L60
闭环轴角度分辨率： 0.1μrad① 0.05μrad① 0.1 μrad①
开环轴角度分辨率： 0.025μrad 0.02μrad 0.05μrad
内置传感器： 应变传感器 应变传感器 应变传感器
偏转轴： 2轴 2轴 2轴
镜面运动最大角度： +2mrad ≥±1.5mrad ±3mrad
执行器： 压电陶瓷 压电陶瓷 压电陶瓷
空载谐振频率(0x' 0y)： 12k 2.4k 2.0k
转角中心到镜面安装面距离： 5.5mm 6.3mm 6.3mm
外形尺寸： Φ25×30mm Φ25×42mm Φ25×60mm
质量： 65 g（不含镜片） 95 g（不含镜片） 130 g（不含镜片）
线性度：
0.1%F.S
0.02%F.S（20%行程）
 0.1%F.S
0.02%F.S（20%行程）
0.1%F.S
0.02%F.S（20%行程）
重复定位精度：
±2μrad（100%行程）
±0.8μrad（20%行程）
±1μrad（100%行程）
±0.3μrad（20%行程）
±2.5μrad（100%行程）
±1μrad（20%行程）
静电电容： 0.96 μF/轴±20% 3 μF/轴±20% 6 μF/轴±20%
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                            注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标
产品应用实例