型号 | FSM-5640-PZT | ||
闭环轴角度分辨率: | 0.025μrad① | 开环轴角度分辨率: | 0.01μrad |
内置传感器: | 应变传感器 | 偏转轴: | 2轴 |
镜面运动最大角度: | ±0.75mrad | 执行器: | 压电陶瓷 |
空载谐振频率(θx' θy): | ≥2kHz | 转角中心到镜面安装面距离: | 6.5mm |
外形尺寸: | 55*42*60mm | 质量 : | 140g |
线性度: |
0.1%F.S
0.02%F.S(20%行程) |
重复定位精度: |
≤±0.5μrad
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静电电容: | 1.5 μF/轴±20% | 产品技术资料下载: | 资料下载 |