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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜（FSM-5740-PZT）
型号 FSM-5740-PZT
闭环轴角度分辨率： 0.05μrad① 开环轴角度分辨率： 0.025μrad
内置传感器： 应变传感器 偏转轴： 2轴
镜面运动最大角度： ±1.5mrad 执行器： 压电陶瓷
空载谐振频率(θx' θy)： ≥1kHz 转角中心到镜面安装面距离： 6.5mm
外形尺寸： 65*52*37mm 质量 ： 250g
线性度：
0.1%F.S
0.02%F.S（20%行程）
 重复定位精度：
≤±1.5μrad
静电电容： 3μF/轴±20% 产品技术资料下载： 资料下载

                            注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标
产品应用实例