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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜（FSM-0140）
型号 FSM-0140
通光孔径： 100mm 闭环轴角度分辨率： 0.1μrad
开环轴角度分辨率： 0.05μrad 内置传感器： 电容传感器
偏转轴： 2轴 镜面运动最大角度： ±2.6mrad
执行器： 压电陶瓷 带载谐振频率(θx'θy)： 500Hz
质量： 2kg 线性度： 0.2%F.S 
重复定位精度：
≤±0.5μrad
 静电电容：
19μF/轴±20%
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