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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > QXJ-0200
型号 QXJ-0200
通光孔径： 80mm~260mm（定制） 闭环轴角度分辨率： 0.1μrad
开环轴角度分辨率： 0.05μrad 内置传感器： 应变传感器
偏转轴： 2轴 镜面运动最大角度： ±0.3mrad~±1mrad
执行器： 压电陶瓷 带载谐振频率(θx'θy)： 280Hz~800Hz（与负载相关）
质量： 1kg~25kg 线性度： 0.1%F.S
重复定位精度：
±1μrad~±3μrad(由行程决定)
 静电电容：
10μF/轴±20%~60μF/轴±20%
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