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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜 FSM-230.02 系列
 
型号 FSM-230.02.200.SGS FSM-230.02.150.SGS FSM-230.02.300.SGS
适配镜面尺寸： 20mm~35mm 20mm~35mm 20mm~35mm
镜面运动最大角度： ±2mrad ±1.5mrad ±3mrad
偏转轴： 2 轴 2 轴 2 轴
执行器： 压电陶瓷 压电陶瓷 压电陶瓷
内置传感器： 应变传感器 应变传感器 应变传感器
闭环轴角度分辨率： 0.1μrad① 0.05μrad① 0.1μrad①
开环轴角度分辨率： 0.025μrad 0.02μrad 0.05μrad
重复定位精度： 1.5μrad 1μrad 2μrad
空载谐振频率(θx' θy)： 12k（±20%） 2.4k（±20%） 2.0k（±20%）
线性度： 0.2%F.S 0.05%F.S 0.1%F.S
静电电容： 0.96μF/轴±20% 3μF/轴±20% 6μF/轴±20%
转角中心到镜面安装面距离： 5.5mm 6.3mm 6.3mm
外形尺寸 ： Φ25×30mm Φ25×42mm Φ25×60mm
质量： 65g（不含镜片） 95g（不含镜片） 130g（不含镜片）
适配控制器型号 AMP-5070.28V.SGS.DINT
AMP-5200.28V.SGS.DINT
AMP-5070.28V.SGS.DINT
AMP-5200.28V.SGS.DINT
 AMP-5070.28V.SGS.DINT
AMP-5200.28V.SGS.DINT
产品技术资料下载： 资料下载 资料下载 资料下载
注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标
产品应用实例