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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-240.02.650.SGS.CIR | ||
| 适配镜面尺寸: | 40mm | 镜面运动最大角度: | ±3mrad | 
| 偏转轴: | 2 轴 | 执行器: | 压电陶瓷 | 
| 内置传感器: | 应变传感器 | 闭环轴角度分辨率: | 0.1μrad① | 
| 开环轴角度分辨率: | 0.05μrad | 重复定位精度: | ±2.5μrad(100%行程) ±1μrad(20%行程)  | 
		
| 空载谐振频率(θx' θy): | 2.0k(±20%) | 线性度 : | 0.1%F.S 0.02%F.S(20%行程)  | 
		
| 静电电容: | 6μF/轴±20% | 转角中心到镜面安装面距离: | 6.5mm | 
| 外形尺寸: | 55*42*60mm | 质量: | <400g | 
| 适配控制器型号: | AMP-5050.28V.SGS.DINT | 产品技术资料下载: | 资料下载 | 
| 注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标 | |||



