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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-2140.02.260.CAP.CIR | ||
| 适配镜面尺寸： | 142mm | 镜面运动最大角度： | ±2.6mrad |
| 偏转轴： | 2 轴 | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 闭环轴角度分辨率： | 0.1μrad |
| 开环轴角度分辨率： | 0.05μrad | 重复定位精度： | ≤±0.5μrad |
| 带载谐振频率(θx'θy)： | 500Hz | 线性度： | 0.2%F.S |
| 静电电容： | 19μF/轴±20% | 外形尺寸： | 132mm*132mm*79.25mm |
| 质量： | 2kg | 适配控制器型号： | AMP-5200.28V.CAP.DINT |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
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