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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-196.02.050.SGS | ||
| 适配镜面尺寸： | 96mm | 镜面运动最大角度： | ±0.5mrad |
| 偏转轴： | 2 轴 | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 应变片传感器 | 角度分辨率： | 0.1μrad |
| 重复定位精度： | 2μrad | 带载谐振频率(θx' θy)： | 450Hz（±10%） |
| 线性度： | 0.1%F.S | 静电电容： | 26μF/轴±20% |
| 外形尺寸： | 148*150*84（长宽高）（中空透光） | 质量： | 2kg (不含镜片) |
| 适配控制器型号： | AMP-5070.28V.SGS.DINT AMP-5200.28V.SGS.DINT |
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