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|---|---|---|---|
| 型号 | FPP-370.02.020.CAP | ||
| 通光孔径： | 27mm | 最大位移行程： | ≥15 μm |
| 位移轴： | 1轴 | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 闭环分辨率： | 3 nm |
| 工作频率： | 280 Hz | 重复定位精度： | 11 nm |
| 线性度： | 0.1%F.S | 静电电容： | 0.7 μF/轴±20% |
| 外形尺寸： | 70×50×14 mm | 质量： | 85 g |
| 适配控制器型号： | AMP-5070.28V.CAP.DINT | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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