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|---|---|---|---|
| 型号 | FSP-4150.02.025.CAP | FSP-4150.02.050.CAP | FSP-4150.02.100.CAP |
| 通光孔径： | 66 mm | 66 mm | 66 mm |
| 最大位移行程： | ≥50 μm | ≥100 μm | ≥200 μm |
| 位移轴： | 2轴 | 2轴 | 2轴 |
| 执行器： | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 电容传感器 | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | 3 nm | 3 nm | 3 nm |
| 重复定位精度： | 9 nm | 9 nm | 9 nm |
| 空载谐振频率： | 310 Hz | 290 Hz | 250 Hz |
| 线性度： | 0.2%F.S | 0.2%F.S | 0.2%F.S |
| 静电电容： | 1.5 μF/轴 | 1.5 μF/轴±20% | 1.5 μF/轴±20% |
| 外形尺寸（长*宽*高）： | 150mm*150mm*30mm | 150mm*150mm*30mm | 150mm*150mm*30mm |
| 材质： | 铝合金，因瓦合金 | 铝合金，因瓦合金 | 铝合金，因瓦合金 |
| 质量： | 1400 g | 1450 g | 1500 g |
| 控制器型号： | － | － | － |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
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