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型号 FSM-720.02.015.OPT FSM-720.02.015.OPT.L FSM-720.02.015.CAP
镜面尺寸: 20~35mm 20~35mm 20~35mm
通光孔径: 20~35mm 20~35mm 20~35mm
镜面材料: 融石英,单晶硅 融石英,单晶硅 融石英,单晶硅
内置传感器: 光电传感器 光电传感器 光电传感器
运动轴数: 2轴 2轴 2轴
镜面偏摆角度(机械): ±1°~±2.5° ±1°~±2.5° ±1°~±2.5°
执行器: 音圈 音圈 音圈
外形尺寸: 54mm×54mm×20 mm 54mm×54mm×20 mm 40mm×35mm×35 mm
质量: ≤80g(不含镜片) ≤80g(不含镜片) ≤128g(不含镜片)
角度分辨率: 1μrad 1μrad 1μrad
重复定位精度: <±1.5μrad <±1.5μrad <±1.5μrad
线性度: ≤0.1%
≤0.02%(数字校正后)
≤0.1%
≤0.02%(数字校正后)
≤0.05%
带宽: 800~1200Hz(与负载相关) 800~1200Hz(与负载相关) 500~1000Hz(与负载相关)
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