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| 型号 | FSM-9154.02.CAP.NON | ||
| 镜⾯尺⼨： | 100*140mm | 通光孔径： | 90*130mm |
| 镜面材料： | 融石英 | 镜面偏摆角度（机械）： | ±0.5°~±1.5° |
| 运动轴数： | 2 轴 | 执行器： | 音圈 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 角度分辨率： | 0.4μrad~1μrad（与定制行程有关） |
| 重复定位精度： | ±1μrad~±4μrad（与定制行程有关） | 带宽： | 300Hz~600Hz（与负载有关，1%F.S） |
| 线性度： | ≤0.5%；≤0.05%（数字校正后） | 外形尺寸： | 200mm×164mm×101mm |
| 质量： | ≤2.5kg(不含电缆及连接器) | 适配控制器型号： | 自带解调，只需配驱动 |
| 控制器名称： | 自带解调，只需配驱动 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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