微型平板类零件微装配系统
真空吸附微夹持器及系统
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压电驱动电源/数字控制器快反镜(FSM)变形镜(DM)消相干镜微位移快速扫描/定位平台精密压电步进马达扫描凝视成像系统光束指向系统光束精跟踪系统多维定位/隔振系统
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快反镜(FSM)快速扫描平台(FSP)变形镜(DM)扫描凝视成像系统光束指向系统光束精跟踪系统音圈驱动电源/数字控制器检流计型激光振镜(GOO系列)伺服马达型激光振镜(SOO系列)激光谐振镜(ROO系列)
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压电点胶阀压电微流体阀/泵质量流量控制器(MFC)微流道散热器电容微位移传感器电容角度传感器加速度传感器压电力传感器压电超声流量计力矩传感器光纤水听器
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光纤水听器及系统光纤位移传感器及系统光纤加速度传感器及系统光纤温度传感器及系统光电器件镜头及光学系统光机电一体化系统定制磁流变阻尼器隔振器减震器磁流变假肢膝关节
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压电陶瓷驱动器综合测试与分析系统光纤超声测量系统超精密位移测量系统智能假肢测试平台系统微/纳装配系统光电探测器带宽测量系统压电致动微夹持钳系统微夹持机器人系统微型平板类零件微装配系统真空吸附微夹持器及系统MARS-ⅠMARS-Ⅱ
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