产品中心
压电微/纳定位系统
产品介绍:快反镜(Fast steering mirror, FSM)是一种快速微纳角度定位机构;它是利用反射镜来控制光束方向的装置,是光学定位及扫描系统中重要组成部件,通常也称为偏摆镜或精瞄镜。以执行器为基准,快反镜分为压电快反镜和音圈快反镜,压电快反镜是压电陶瓷叠堆作为驱动源。
音圈微/纳米定位系统
产品介绍:快反镜(Fast steering mirror, FSM)是一种快速微纳角度定位机构;它是利用反射镜来控制光束方向的装置,是光学定位及扫描系统中重要组成部件,通常也称为偏摆镜或精瞄镜。以执行器为基准,快反镜分为压电快反镜和音圈快反镜,音圈快反镜是以音圈电机模组作为驱动源。
超精密传感技术及系统
产品介绍:电容传感器是一种将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。它结构简单,体积小,分辨率高,具有平均效应,测量精度高,可实现非接触测量,并能在高温,辐射和强烈振动等恶劣条件下工作,广泛应用于压力、差压、液位、振动、位移、加速度、成分含量等方面的测量。











