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压电微/纳定位系统
产品介绍:快反镜(Fast steering mirror, FSM)是一种快速微纳角度定位机构;它是利用反射镜来控制光束方向的装置,是光学定位及扫描系统中重要组成部件,通常也称为偏摆镜或精瞄镜。以执行器为基准,快反镜分为压电快反镜和音圈快反镜,压电快反镜是压电陶瓷叠堆作为驱动源。

音圈微/纳米定位系统
产品介绍:快反镜(Fast steering mirror, FSM)是一种快速微纳角度定位机构;它是利用反射镜来控制光束方向的装置,是光学定位及扫描系统中重要组成部件,通常也称为偏摆镜或精瞄镜。以执行器为基准,快反镜分为压电快反镜和音圈快反镜,音圈快反镜是以音圈电机模组作为驱动源。

激光振镜/谐振镜系统
产品介绍:激光振镜、扫描振镜。这是一种高速扫描的器件,在激光打标设备上早已成熟应用。它机构简单体积小(无正弦机构),定位精度高(定位角偏差约2’’),扫描速度极快(毫秒级),成本低。据有关资料介绍,核聚变中高速多波段紫外光谱检测已有使用。