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|---|---|---|---|
| 型号 | FM-029.06 | ||
| 通光孔径： | 29mm | 行程： | ±3mm |
| 运动轴数 | 单轴 | 柔性机构（导向类型）： | 弹片 |
| 分辨率： | 20nm~100nm（可选） | 重复定位精度： | 40nm~1000nm（可选） |
| 速度： | 300mm/s | 单步最小位移： | 20nm~100nm（可选） |
| 驱动力： | 4N | 外尺寸： | 83*83*76mm |
| 负载最大质量： | 150g | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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