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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-070.02.007 | ||
| 推荐负载： | Ф70×25mm | 机械偏转角度： | ≥±70μrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 应变传感器 |
| 闭环分辨率： | ≤0.2μrad① | 重复定位精度： | ≤2μrad |
| 带载谐振频率： | ≥700Hz（±20%） | 线性度： | ≤0.6%F.S② |
| 单轴电容： | 15μF | 外形尺寸： | 140×140×51.3mm |
| 重量： | ≤3Kg (不含负载) | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
| 注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标 ②标定后线性度 | |||
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