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| 型号 | FSM-078.02.029 | ||
| 推荐负载： | Ф78×25mm | 机械偏转角度： | ≥±290μrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | ≤0.2μrad① | 重复定位精度： | ≤2μrad |
| 带载谐振频率： | ≥700Hz（±20%） | 线性度： | ≤0.2%F.S② |
| 单轴电容： | 20μF | 外形尺寸： | 150×150×45mm |
| 重量： | ≤5Kg (不含负载) | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
| 注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标 ②标定后线性度 | |||
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