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|---|---|---|---|
| 型号 | EAM-0142.02.060 | ||
| 推荐负载： | 142×102×34.6mm（椭圆） | 机械偏转角度： | ≥±0.6mrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | ≤0.1μrad① | 重复定位精度： | ≤5μrad |
| 带载谐振频率： | ≥160Hz（±20%） | 线性度： | ≤0.2%F.S② |
| 外形尺寸： | 182×160×113.9mm | 重量： | ≤6Kg (不含负载) |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标 ②标定后线性度 | |||
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