02 光闭环系统

      针对半导体量检测设备的高精度光束控制需求，巅慧科技自主研发的光闭环系统已成功实现国产配套和交付。

      该系统可实现光束的实时检测与闭环校正，显著提升光学检测系统的稳定性与重复定位精度，为先进制程量测设备提供核心技术支撑。

      03 电容微位移传感器系列

      电容微位移传感器具备亚纳米级分辨率与长期测量稳定性，是超精密装备的核心“精度标尺”。

      该系列产品可实现对微位移、振动、结构形变的高精度实时检测，可广泛应用于晶圆台的纳米级定位监测、光刻物镜的微位移调整、晶圆厚度与形变在线检测、划片机进给精度控制等核心环节，为先进制程的芯片制造，提供自主可控的精密测量保障。

      04 压电步进电机系列

      基于压电惯性驱动原理的压电步进电机，兼具毫米级大行程与纳米级定位精度，同时具备高推力、低功耗、真空兼容、无电磁干扰等优势。

      该系列产品可完美适配半导体设备中的晶圆精密对位、光学镜头调焦、狭缝开度调节、真空腔体内精密进给等场景，为半导体制程装备提供稳定可靠的长行程超精密驱动解决方案。

      05 变形镜系列

      作为自适应光学系统的核心执行单元，巅慧科技变形镜产品通过多通道压电促动器精准控制镜面形变，可对光学系统的波前畸变进行实时动态校正，有效补偿像差、振动与环境扰动带来的精度损耗。适用于高端光刻物镜、光学量检测设备、高精度激光加工系统，助力半导体光学制程突破分辨率极限，支撑先进节点工艺落地。