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| 型号 |
XH-1型
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靶丸加工直径范围:
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0.8mm~3.0mm
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靶丸研抛圆度:
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优于0.3μm |
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靶丸研抛表面粗糙度:
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优于20nm
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四轴轴线对中心: | 倒正四面体分布,两轴夹角为109.5°, 偏差<0.1° |
| 四轴沿轴线运动精度: | 垂直跳动8μm/10mm; 水平跳动<8μm/10mm |
四轴转动精度: | 0mm~20nm,精度<20μm |
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四轴转速:
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0r/min~3000r/min可调
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四轴相对时间差:
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5s-30s,精度<0.5s
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| 研磨压力: | 0N-5N可调, 压力精度为满量程的5% |
连续运行时长: | >100h |
| 驱动方式: | 伺服电机驱动 | 传动方式: | 精密导轨位移台, 精度1μm/0.1μm(1/10细分) |
| 工作方式: | 四轴独立转向控制, 可设置定时换向 |
控制方式: | 力反馈控制,上位机人机交互程序控制 |
| 监控方式: | 显微镜头+高清相机实时监控 | 供电: | AC220V,50/60Hz |
| 功耗: | 峰值<1200W | 外形尺寸: | 1080×850×1658mm |
| 重量: | 400kg | 产品资料下载: | 参数下载 |



