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型号
XH-1型
靶丸加工直径范围:
0.8mm~3.0mm
靶丸研抛圆度:
优于0.3μm
靶丸研抛表面粗糙度:
优于20nm
四轴轴线对中心: 倒正四面体分布,两轴夹角为109.5°,
偏差<0.1°
四轴沿轴线运动精度: 垂直跳动8μm/10mm;
水平跳动<8μm/10mm
四轴转动精度: 0mm~20nm,精度<20μm
四轴转速:
0r/min~3000r/min可调
四轴相对时间差:
5s-30s,精度<0.5s
研磨压力: 0N-5N可调,
压力精度为满量程的5%
连续运行时长: >100h
驱动方式: 伺服电机驱动 传动方式: 精密导轨位移台,
精度1μm/0.1μm(1/10细分)
工作方式: 四轴独立转向控制,
可设置定时换向
控制方式: 力反馈控制,上位机人机交互程序控制
监控方式: 显微镜头+高清相机实时监控 供电: AC220V,50/60Hz
功耗: 峰值<1200W 外形尺寸: 1080×850×1658mm
重量: 400kg 产品资料下载: 参数下载
产品应用实例