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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜 FSM-230.02 系列
 
型号 FSM-230.02.200.L30.SGS FSM-230.02.150.L42.SGS FSM-230.02.300.L50.SGS FSM-230.02.300.L60.SGS
推荐负载： Ф12.5×3mm Ф25×5mm Ф25×5mm Ф25×5mm
机械偏转角度： ≥±2mrad ≥±1.5mrad ±3mrad ≥±3mrad
偏转轴数： 2 轴 2 轴 2 轴 2 轴
内置传感器： 应变传感器 应变传感器 应变传感器 应变传感器
闭环分辨率： ≤0.3μrad① ≤0.2μrad① 0.4μrad① 0.4μrad①
重复定位精度： ≤2μrad ≤1.5μrad 3μrad ≤3μrad
空载谐振频率： ≥12k（±20%） ≥2.4k（±20%） 2.0k（±20%） ≥2.0k（±20%）
线性度： ≤0.1%F.S② ≤0.1%F.S② 0.1%F.S② ≤0.1%F.S②
静电电容： 0.96μF/轴±20% 3μF/轴±20% 6μF/轴±20% 6μF/轴±20%
转轴至镜片安装面间距： 5.5mm 6.3mm 6.3mm 6.3mm
外形尺寸： Φ25×30mm Φ25×42mm Φ25×50mm Φ25×60mm
重量： ≤65g(不含负载) ≤95g (不含负载) ≤130g (不含负载) ≤130g (不含负载)
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注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标  ②标定后线性度
产品应用实例