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首页 > 产品中心 > 压电微/纳定位系统 > 快反镜(FSM) > 压电快反镜（FSM-240.02.650.SGS.CIR）
 
型号 FSM-240.02.650.SGS.CIR
适配镜面尺寸： 40mm 镜面运动最大角度： ±3mrad
偏转轴： 2 轴 执行器： 压电陶瓷
内置传感器： 应变传感器 闭环轴角度分辨率： 0.1μrad①
开环轴角度分辨率： 0.05μrad 重复定位精度： ±2.5μrad（100%行程）
±1μrad（20%行程）
空载谐振频率(θx' θy)： 2.0k（±20%） 线性度 ： 0.1%F.S
0.02%F.S（20%行程）
静电电容： 6μF/轴±20% 转角中心到镜面安装面距离： 6.5mm
外形尺寸： 55*42*60mm 质量： ＜400g
适配控制器型号： AMP-5050.28V.SGS.DINT 产品技术资料下载： 资料下载
注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标
产品应用实例