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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-250.02.150.CAP | ||
| 推荐负载： | 50mm | 机械偏转角度： | ±1.5mrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | 0.2μrad① | 重复定位精度： | 2μrad |
| 空载谐振频率： | 800Hz（±20%） | 线性度： | 0.2%F.S② |
| 静电电容： | 3μF/轴±20% | 转轴至镜片安装面间距 ： | 5mm |
| 外形尺寸 ： | 78×60×75.4mm | 重量： | ≤500g(不含负载) |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标 ②标定后线性度 | |||
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