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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-2105.02.350.CAP.CIR | ||
| 推荐负载： | 105mm | 机械偏转角度： | ±3.5mrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | 0.5μrad | 重复定位精度： | ≤±2μrad |
| 空载谐振频率： | 280Hz（±20%） | 线性度： | 0.2%F.S |
| 静电电容： | 25.6μF/轴±20% | 转轴至镜片安装面间距： | 11mm |
| 外形尺寸： | 129×129×133.5mm | 重量： | ≤2.5kg(不含负载) |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
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