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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-2140.02.260.CAP | ||
| 推荐负载： | Ф140mm | 机械偏转角度： | ±2.6mrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | 0.2μrad | 重复定位精度： | 1.5μrad |
| 空载谐振频率： | 500Hz（±20%） | 线性度： | 0.2%F.S |
| 静电电容： | 19μF/轴±20% | 外形尺寸： | 132×132×79.25mm |
| 重量： | ≤2kg(不含负载) | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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