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型号 | FSM-1200.02.100.SGS | ||
适配镜面尺寸: | 226*202mm | 镜面运动最大角度: | ±0.6mrad(绕短轴);±0.55mrad(绕长轴) |
偏转轴: | 2 轴 | 执行器: | 压电陶瓷 |
内置传感器: | 应变片传感器 | 角度分辨率: | 0.1μrad |
重复定位精度: | 1μrad | 线性度: | 0.2%F.S |
静电电容: | 52μF/轴±20% | 外形尺寸: | 368*340*149(长宽高)(中空透光) |
质量: | 9.5kg (不含镜片) | 适配控制器型号: | AMP-5070.28V.SGS.DINT AMP-5200.28V.SGS.DINT |
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