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| 型号 | FSM-1200.02.100.SGS | ||
| 推荐负载： | 226×202mm(定制) | 机械偏转角度： | ±0.6mrad |
| 偏转轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 应变片传感器 |
| 闭环分辨率： | 0.2μrad | 重复定位精度： | 2μrad |
| 空载谐振频率： | 300Hz（±20%） | 线性度： | 0.2%F.S |
| 静电电容： | 52μF/轴±20% | 外形尺寸： | 368×340×149mm |
| 重量： | ≤9.5kg(不含负载) | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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