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型号 FSM-1260.02.100.SGS
通光孔径: 80mm~260mm(定制) 镜面运动最大角度: ±0.3mrad~±1mrad
偏转轴: 2 轴 执行器: 压电陶瓷
内置传感器: 应变片传感器 闭环轴角度分辨率: 0.1μrad
开环轴角度分辨率: 0.05μrad 重复定位精度: ±1μrad~±3μrad(由行程决定)
带载谐振频率(θx'θy): 280Hz~800Hz(与负载相关) 线性度: 0.1%F.S 
静电电容: 10μF/轴±20%~60μF/轴±20% 外形尺寸: 302mm*290mm*145mm
质量: 1kg~25kg 适配控制器型号: 定制
产品技术资料下载: 资料下载
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