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|---|---|---|---|
| 型号 | FSP-500.02.018.SGS | ||
| 通光孔径： | 27mm | 最大位移行程： | ±18μm |
| 位移轴： | 2 | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 应变 | 闭环分辨率： | 5nm |
| 工作频率： | 150Hz@±10μm | 重复定位精度： | ＜50nm |
| 线性度： | 0.1% | 静电电容： | 0.7μF/轴 ±20% |
| 外形尺寸： | 53.7*53.7*14.5mm | 质量： | ＜100g |
| 适配控制器型号： | AMP-5070.28V.SGS.DINT | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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