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|---|---|---|---|
| 型号 | FPP-550.02.030.CAP | ||
| 通光孔径： | 15mm | 最大位移行程： | ≥±30μm |
| 位移轴： | 2轴 | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 内置传感器： | 电容 | 闭环分辨率： | 3nm |
| 重复定位精度： | ＜80nm | 空载谐振频率（θx'θy）： | 1kHz |
| 线性度： | 0.1%F.S | 静电电容： | 1.92μF/轴 ±20% |
| 外形尺寸： | 50*50*27mm | 质量： | 110g |
| 适配控制器型号： | AMP-5070.28V.CAP.DINT | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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