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|---|---|---|---|
| 型号 | FSP-315.02.030.CAP | ||
| 通光孔径： | Ф15mm | 机械行程： | ≥±30μm |
| 轴数： | 2 轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | ≤4nm① | 空载谐振频率： | ≥1kHz(±20%） |
| 重复定位精度： | ≤40nm | 线性度： | ≤0.1%F.S② |
| 静电电容： | 1.92μF/轴 ±20% | 外形尺寸： | 50×50×27mm |
| 质量： | ≤110g (不含负载) | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
| 注：①标注的指标为使用16位控制器测试指标 ②标定后线性度 | |||
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