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型号 FSM-740.02.015.OPT FSM-740.02.010.OPT FSM-740.02.005.CAP
标准负载: Ф40×5mm Ф40×5mm Ф40×5mm
可定制负载: ≤54×38×8mm ≤54×38×8mm ≤54×38×8mm
机械偏转角度: ≥±1.5° ≥±1.0° ≥±0.5°
偏转轴数: 2轴 2轴 2轴
内置传感器: 光电传感器 光电传感器 电容传感器
闭环分辨率: ≤1 μrad ≤1 μrad ≤0.5 μrad
重复定位精度: ≤4μrad ≤3 μrad ≤2 μrad
闭环带宽: 300Hz@500μrad 300Hz@500μrad 300Hz@500μrad
线性度: ≤0.05%F.S ≤0.05%F.S ≤0.05%F.S
转轴至反射面距离: 15mm 15mm 15mm
外形尺⼨: 50×50×35mm 50×50×35mm 50×50×35mm
重量: ≤500g(标准负载) ≤500g(标准负载) ≤500g(标准负载)
产品技术资料下载: 资料下载
注:①标定后线性度  ②根据负载厚度变化
产品应用实例