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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-840.02.015.OPT.CIR | FSM-840.02.010.CAP.CIR | FSM-840.02.005.CAP.CIR |
| 镜⾯尺⼨： | 40mm | 40mm | 40mm |
| 通光孔径： | 30mm~45mm(可定制) | 30mm~45mm(可定制) | 30mm~45mm(可定制) |
| 镜⾯材料： | 融⽯英(可定制) | 融⽯英(可定制) | 融⽯英(可定制) |
| 镜⾯偏摆⻆度(机械)： | ±1.5° | ±1.0° | ±0.5° |
| 运动轴数： | 2轴 | 2轴 | 2轴 |
| 执⾏器： | ⾳圈 | ⾳圈 | ⾳圈 |
| 内置传感器： | 光电 | 电容传感器/光电 | 电容传感器/光电 |
| ⻆度分辨率： | 1 μrad | 0.7 μrad | 0.4 μrad |
| 重复定位精度： | 8 μrad | 5 μrad | 2 μrad |
| 带宽： | 350Hz@500μrad | 350Hz@500μrad | 350Hz@500μrad |
| 线性度： | 0.05%（数字矫正后） | 0.05%（数字矫正后） | 0.05%（数字矫正后） |
| 外形尺⼨： | 50mm×50mm×35mm | 50mm×50mm×35mm | 50mm×50mm×35mm |
| 质量： | ≤500g(不含电缆及连接器) | ≤500g(不含电缆及连接器) | ≤500g(不含电缆及连接器) |
| 适配控制器型号： | AMP-7150.28V.OPT.DINT | AMP-7150.28V.OPT.DINT | AMP-7150.28V.OPT.DINT |
| 控制器名称： | 数字控制器 | 数字控制器 | 数字控制器 |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
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