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型号 FSM-780.02.015.OPT FSM-780.02.010.OPT FSM-780.02.005.CAP
标准负载: 80×60×8mm 80×60×8mm 80×60×8mm
可定制负载: ≤Ф80×8mm ≤Ф80×8mm ≤Ф80×8mm
机械偏转角度: ≥±1.5° ≥±1.0° ≥±0.5°
偏转轴数: 2轴 2轴 2轴
内置传感器: 光电传感器 光电传感器 电容传感器
闭环分辨率: ≤1 μrad ≤1 μrad ≤0.5 μrad
重复定位精度: ≤4μrad ≤3μrad ≤2 μrad
闭环带宽: ≥350Hz@500μrad ≥350Hz@500μrad ≥350Hz@500μrad
线性度: ≤0.05%F.S ≤0.05%F.S ≤0.05%F.S
转轴至反射面距离: 18mm 18mm 18mm
外形尺⼨: 80×80×55mm 80×80×55mm 080×80×55mm
重量: ≤600g(标准负载) ≤600g(标准负载) ≤600g(标准负载)
产品技术资料下载: 资料下载
注:①标定后线性度  ②根据负载厚度变化
产品应用实例