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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-780.02.015.OPT | FSM-780.02.010.OPT | FSM-780.02.005.CAP |
| 标准负载: | 80×60×8mm | 80×60×8mm | 80×60×8mm |
| 可定制负载: | ≤Ф80×8mm | ≤Ф80×8mm | ≤Ф80×8mm |
| 机械偏转角度: | ≥±1.5° | ≥±1.0° | ≥±0.5° |
| 偏转轴数: | 2轴 | 2轴 | 2轴 |
| 内置传感器: | 光电传感器 | 光电传感器 | 电容传感器 |
| 闭环分辨率: | ≤1 μrad | ≤1 μrad | ≤0.5 μrad |
| 重复定位精度: | ≤4μrad | ≤3μrad | ≤2 μrad |
| 闭环带宽: | ≥350Hz@500μrad | ≥350Hz@500μrad | ≥350Hz@500μrad |
| 线性度: | ≤0.05%F.S① | ≤0.05%F.S① | ≤0.05%F.S① |
| 转轴至反射面距离: | 18mm② | 18mm② | 18mm② |
| 外形尺⼨: | 80×80×55mm | 80×80×55mm | 080×80×55mm |
| 重量: | ≤600g(标准负载) | ≤600g(标准负载) | ≤600g(标准负载) |
| 产品技术资料下载: | 资料下载 | ||
| 注:①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||



