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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-780.02.015.CAP.CIR | FSM-780.02.010.CAP.CIR | FSM-780.02.005.CAP.CIR |
| 镜⾯尺⼨： | 80mm×60mm(椭圆) | 80mm×60mm(椭圆) | 80mm×60mm(椭圆) |
| 通光孔径： | 75mm×55mm(椭圆) | 75mm×55mm(椭圆) | 75mm×55mm(椭圆) |
| 镜⾯材料： | 融石英（可定制） | 融石英（可定制） | 融石英（可定制） |
| 镜⾯偏摆⻆度(机械)： | ±1.5° | ±1.0° | ±0.5° |
| 运动轴数： | 2轴 | 2轴 | 2轴 |
| 执⾏器： | ⾳圈 | ⾳圈 | ⾳圈 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 电容传感器 | 电容传感器 |
| ⻆度分辨率： | 1 μrad | 0.7 μrad | 0.4 μrad |
| 重复定位精度： | 8 μrad | 5 μrad | 2 μrad |
| 带宽： | 350Hz@500μrad | 350Hz@500μrad | 350Hz@500μrad |
| 线性度： | 0.05%（数字矫正后） | 0.05%（数字矫正后） | 0.05%（数字矫正后） |
| 外形尺⼨： | 80mm×80mm×55mm | 80mm×80mm×55mm | 80mm×80mm×55mm |
| 质量： | ≤500g(不含电缆及连接器) | ≤500g(不含电缆及连接器) | ≤500g(不含电缆及连接器) |
| 适配控制器型号： | AMP-7150.28V.CAP.DINT | AMP-7150.28V.CAP.DINT | AMP-7150.28V.CAP.DINT |
| 控制器名称： | 数字控制器 | 数字控制器 | 数字控制器 |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
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