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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-978.02.CAP | ||
| 镜⾯尺⼨： | 88mm*78mm（跑道型） | 通光孔径： | φ50mm |
| 镜面材料： | 融石英 | 镜面偏摆角度（机械）： | ±3mrad |
| 运动轴数： | 2 轴 | 执行器： | 音圈 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 角度分辨率： | 0.1μrad |
| 重复定位精度： | ≤2μrad@30%F.S；≤4μrad@50%F.S | 带宽： | ≥400Hz@±50μrad |
| 线性度： | 0.1% | 外形尺寸： | 129mm*94mm*75mm |
| 质量： | ≤1100g | 适配控制器型号： | 定制 |
| 控制器名称： | 定制 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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