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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-9220.02.000.57.CAP | ||
| 镜⾯尺⼨： | 220*188mm | 通光孔径： | 166*140mm |
| 镜面材料： | 融石英 | 镜面偏摆角度（机械）： | ±3mrad |
| 运动轴数： | 2 轴 | 执行器： | 音圈 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 角度分辨率： | 0.2μrad |
| 重复定位精度： | ≤1μrad | 带宽： | 100Hz@15%F.S |
| 线性度： | ≤0.05% | 外形尺寸： | 320*320*110mm |
| 质量： | ≤22kg | 适配控制器型号： | 定制 |
| 控制器名称： | 定制 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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