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| 型号 | FSM-8220.02.003.CAP | ||
| 标准负载： | 220×188×22mm | 机械偏转角度： | ≥±3mard |
| 偏转轴数： | 2轴 | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 闭环分辨率： | 0.4μrad | 重复定位精度： | ≤1μrad |
| 闭环带宽： | 100Hz@15%F.S | 线性度： | ≤0.05%F.S① |
| 转轴至反射面距离： | 21mm② | 外形尺⼨： | 320×320×110mm |
| 重量： | ≤22kg | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
| 注：①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||
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