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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-7135.02.002.CAP | ||
| 标准负载： | 135×98×6mm | 可定制负载： | ≤138×102×10mm |
| 机械偏转角度： | ≥±2.5mrad | 偏转轴数： | 2轴 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 闭环分辨率： | ≤0.3μrad |
| 重复定位精度： | ≤1.5μrad | 闭环带宽： | ≥350Hz@±150urad |
| 线性度： | ≤0.15%F.S① | 转轴至反射面距离： | 25.5mm② |
| 外形尺⼨： | 138×106×120mm | 重量： | ≤3.2kg |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||
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