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型号 FSM-750.01.010.CAP
标准负载: 50×40×5mm 机械偏转角度: ≥±1.0°
偏转轴数: 1轴 内置传感器: 电容传感器
闭环分辨率: 1 μrad 重复定位精度: 3 μrad
带宽: 180Hz@±0.5mrad 线性度: 0.2%F.S
转轴至反射面距离: 12.5mm 外形尺⼨: 67×43×40mm
重量: ≤250g(不含电缆及连接器) 产品技术资料下载: 资料下载
注:①标定后线性度  ②根据负载厚度变化
产品应用实例