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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-750.01.010.CAP | ||
| 标准负载: | 50×40×5mm | 机械偏转角度: | ≥±1.0° |
| 偏转轴数: | 1轴 | 内置传感器: | 电容传感器 |
| 闭环分辨率: | 1 μrad | 重复定位精度: | 3 μrad |
| 带宽: | 180Hz@±0.5mrad | 线性度: | 0.2%F.S① |
| 转轴至反射面距离: | 12.5mm② | 外形尺⼨: | 67×43×40mm |
| 重量: | ≤250g(不含电缆及连接器) | 产品技术资料下载: | 资料下载 |
| 注:①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||
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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-750.01.010.CAP | ||
| 标准负载: | 50×40×5mm | 机械偏转角度: | ≥±1.0° |
| 偏转轴数: | 1轴 | 内置传感器: | 电容传感器 |
| 闭环分辨率: | 1 μrad | 重复定位精度: | 3 μrad |
| 带宽: | 180Hz@±0.5mrad | 线性度: | 0.2%F.S① |
| 转轴至反射面距离: | 12.5mm② | 外形尺⼨: | 67×43×40mm |
| 重量: | ≤250g(不含电缆及连接器) | 产品技术资料下载: | 资料下载 |
| 注:①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||