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| 型号 | FSM-640.02.090.OPT | ||
| 标准负载: |
Ф40×2mm
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可定制负载: |
≤Ф40×2mm
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| 机械偏转角度: | ≥±9° @θx 、≥±3° @θy | 偏转轴数: |
2轴
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| 内置传感器: |
光电传感器
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闭环分辨率: |
≤20μrad
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| 重复定位精度: | ≤120μrad | 闭环带宽: |
120Hz@±3°
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| 线性度: |
≤0.5%F.S①
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转轴至反射面距离: |
3.7mm②
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| 外形尺⼨: |
69×30.5×52.5 mm
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重量: |
≤200g(标准负载)
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| 产品技术资料下载: | 资料下载 | ||
| 注:①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||



