 |
|||
|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-9100.02.020.OPT | ||
| 主镜尺寸： | 100×72mm×厚度 | 次镜尺寸： | 40×28mm×厚度 |
| 机械偏转角度： | ≥±2° | 偏转轴数： | 2轴 |
| 内置传感器： | 光电传感器 | 闭环分辨率： | ≤2μrad |
| 重复定位精度： | ≤8μrad | 闭环带宽： | ≥260Hz@100μrad |
| 线性度 ： | ≤0.15%F.S① | 转轴至反射面距离： | 主镜：20.5mm；次镜：15.5mm② |
| 外形尺⼨： | 159×108×38mm | 重量： | ≤1.5kg |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标定后线性度②根据负载厚度变化 | |||
- 网站首页
-
产品中心
-
压电驱动电源/数字控制器快反镜(FSM)变形镜(DM)消相干镜微位移快速扫描/定位平台精密压电步进马达扫描凝视成像系统光束指向系统光束精跟踪系统多维定位/隔振系统六自由度平台
-
快反镜(FSM)快速扫描平台(FSP)变形镜(DM)扫描凝视成像系统光束指向系统光束精跟踪系统音圈驱动电源/数字控制器激光谐振镜(ROO系列)伺服马达型激光振镜(SOO系列)检流计型激光振镜(GOO系列)
-
压电点胶阀压电微流体阀/泵质量流量控制器(MFC)微流道散热器电容微位移传感器电容角度传感器加速度传感器压电力传感器压电超声流量计力矩传感器光纤水听器
-
成像与探测系统光纤水听器及系统光纤位移传感器及系统光纤加速度传感器及系统光纤温度传感器及系统光电器件镜头及光学系统光机电一体化系统定制磁流变阻尼器隔振器减震器磁流变假肢膝关节
-
压电陶瓷驱动器综合测试与分析系统光纤超声测量系统超精密位移测量系统智能假肢测试平台系统微/纳装配系统光电探测器带宽测量系统压电致动微夹持钳系统微夹持机器人系统微型平板类零件微装配系统真空吸附微夹持器及系统MARS-ⅠMARS-Ⅱ
-
- 解决方案
- 服务支持
- 合作伙伴
- 关于巅慧