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型号 FSM-855.02.015.CAP
标准负载: 70×50×6mm 机械偏转角度: ≥±1.0°
偏转轴数: 2轴 内置传感器: 电容传感器
闭环分辨率: 1 μrad 重复定位精度: 3μrad
闭环带宽: 250Hz@±0.5mrad 线性度: 0.05%F.S
转轴至反射面距离: 15.5mm 外形尺⼨: 90×70×45.5mm
重量: ≤300g(不含电缆及连接器) 产品技术资料下载: 资料下载
注:①标定后线性度  ②根据负载厚度变化
产品应用实例