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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-7105.02.003.CAP | ||
| 标准负载： | 105×96×12mm | 可定制负载： | ≤Ф105×12mm |
| 机械偏转角度： | ±4.5mrad | 偏转轴数： | 2轴 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 闭环分辨率： | 0.4μrad |
| 重复定位精度： | 2μrad | 闭环带宽： | 100Hz@50urad |
| 线性度： | ≤0.1%F.S① | 转轴至反射面距离： | 24.8mm② |
| 外形尺⼨： | 105×100×65mm | 重量： | ≤2.5kg(标准负载) |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||
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