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|---|---|---|---|---|---|
| 型号 |
CAP-6DOF.500
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| 测量自由度： | 6 | 探头材料： | 殷钢 | ||
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量程
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位移： |
500μm
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精度 | 位移： |
100nm
|
| 角度： |
±2.5mrad
|
角度： |
1.5μrad
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| 分辨率 | 位移： |
10nm
|
温飘：
|
-150nm/K
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| 角度： |
50nrad
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工作温度范围：
|
0 ~ 75℃
|
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| 湿度(无冷凝)： |
0% ~ 95%
|
尺寸：
|
260×260×18mm
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|
探头材料：
|
殷钢
|
线缆长度：
|
1500mm
|
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|
线缆线径：
|
8mm
|
安装方式： | 8×M6螺纹 | ||
| 产品技术资料下载： | 参数下载 | ||||
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