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|---|---|---|---|
| 型号 |
CAP-6DOF.500
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| 测量自由度： | 6 | 探头材料： | 殷钢 |
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位移量程：
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500μm
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角度量程： |
±250μrad
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| 位移精度： |
100nm
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角度精度： |
1.5μrad
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| 位移分辨率： |
10nm
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角度分辨率： |
50nrad
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温飘：
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-180nm/K
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工作温度范围：
|
0~75℃
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湿度(无冷凝)：
|
0%～95%
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尺寸：
|
260×260×18mm
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安装方式：
|
8x M6螺纹
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产品技术资料下载： | 资料下载 |
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