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型号 FSP-256.02.075.SGS
适配镜面尺寸: 56mm~40mm椭圆 镜面运动最大角度: ±0.75mrad
偏转轴: 2 轴 执行器: 压电陶瓷
内置传感器: 应变传感器 闭环轴角度分辨率: 0.025μrad
开环轴角度分辨率: 0.01μrad 重复定位精度: ≤±0.5μrad
空载谐振频率(θx' θy): ≥2kHz 线性度: 0.1%F.S
0.02%F.S(20%行程)
静电电容: 1.5μF/轴±20% 转角中心到镜面安装面距离: 6.5mm
外形尺寸: 72*56*27mm 质量: 140g
适配控制器型号: AMP-5070.28V.SGS.DINT
AMP-5200.28V.SGS.DINT
产品技术资料下载: 资料下载
注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标
产品应用实例